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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| PDMAT | |
| 五(二甲氨基)鉭(V) (C10H30N5Ta) |
| 化學(xué)式 | C10H30N5Ta |
| 中文名稱 | 五（二甲氨基）鉭(V) |
| 英文名稱 | PDMAT |
| CAS No. | 19824-59-0 |
| 分子量 | 401.3266 |
| 充裝系數(shù) | |
| 應(yīng)用 | 氮化鉭 (TaN) 薄膜的揮發(fā)性固體 CVD 前體。當(dāng)在沉積過(guò)程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 時(shí)，還會(huì)形成氧化鉭 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作為集成電路制造中的柵電介質(zhì)材料具有廣闊的應(yīng)用前景。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.99% |
